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廣電計量檢測集團股份有限公司

PSS晶圓自動上片機

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱上海福賽特機器人有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質
  • 更新時間2022/10/14 13:45:20
  • 訪問次數165
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智能設備、智能系統
產品配置CCD自動檢測、工業機器人、全過程伺服控制系統、全過程智能檢測系統等設備生產節拍850盤/天產品品質良率≧99.5%產品精度晶圓片上下片重復定位精度可達到±0.15mm
PSS晶圓自動上片機 產品信息
產品配置CCD自動檢測、工業機器人、全過程伺服控制系統、全過程智能檢測系統等
設備生產節拍850盤/天
產品品質良率≧99.5%
產品精度晶圓片上下片重復定位精度可達到±0.15mm，±0.2度以內
產品尺寸3米*2.7米*2.45米


用于ICP干蝕刻工藝設備之前的智能生產設備 FST-SC100P-A


l全自動：高度智能信息化系統可實現自動上盤，盤尋邊，襯底mapping，襯底尋邊，Wafer ID讀取，自動上片，自動鎖螺絲，盤自動下料，Wafer ID與盤SN綁定LINK后上傳至MES


l高配置：CCD自動檢測、工業機器人、全過程伺服控制系統、全過程智能檢測以及智能化操作系統等


l高節拍：850盤/天


l高品質：良率≥99.99%


l高精度：晶圓片上下片重復定位精度可達到±0.15mm，±0.2度以內


l人性化：成熟*的自動控制技術，增加智能監控，智能語音提醒，既滿足工業生產也兼顧人因工程


l設備尺寸：3.2米*3米*2.5米

15168338725
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