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當前位置：北京中科復華科技有限公司>>產品展示>>薄膜應力測量儀
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薄膜應力測量：在硅片等基板上附膜時，由于基板和薄膜的物理定數有異，產生應力，進而引起基板變形。由涂抹均勻的薄膜引起的變形的表現為基板的翹曲，而薄膜應力測量裝置F...
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