超純水是什么水?

　　超純水是一種高度純凈的水，它是普通的水去除掉礦物質(zhì)、微粒、細菌、微生物和溶解氣體后得到的一種水。它也被稱為“去離子水",意味著離子成分已被*去除。

　　生產(chǎn)半導(dǎo)體需經(jīng)過8個主要流程。超純水主要用于半導(dǎo)體制造過程中一些工藝前后的清洗操作。比如蝕刻工藝后，對晶圓進行切割，并使用超純水清洗殘留的碎片;或者,在離子注入工藝后，清洗殘留離子。另外，超純水也用于晶圓拋光或晶圓切割。

　　超純水在半導(dǎo)體工藝中的作用是什么?

　　處理納米級超精細工藝的半導(dǎo)體時，如果在各種工藝前后,殘留某個小顆粒,便會引起錯誤。因此，在各種工藝前后使用超純水清洗晶圓，可確保清潔度，從而提升半導(dǎo)體生產(chǎn)率(產(chǎn)量)。

　　超純水是如何制取的?

　　傳統(tǒng)的超純水制取工藝是采用陰陽樹脂交換設(shè)備，該工藝的缺點在于樹脂在使用一段時間以后要經(jīng)常再生。隨著膜分離技術(shù)的不斷成熟，采用反滲透工藝，或是采用反滲透后面再經(jīng)過EDI及拋光混床工藝來制取超純水，出水電導(dǎo)率可達18.2MΩ，滿足了芯片行業(yè)的用水需求。

　　超純水設(shè)備能連續(xù)穩(wěn)定地制備出高質(zhì)量的超純水，不會因樹脂再生而停止運行。設(shè)備的結(jié)構(gòu)設(shè)計比較緊湊，占地面積很小，可以為企業(yè)節(jié)省大量空間。設(shè)備出廠前需要進行檢驗，設(shè)備故障概率小，日常維護和維修操作非常簡單。