在半導體生產中有一個很重要的介質就是“水",想要獲得符合生產需求的水質,需要依靠半導體超純水設備。半導體超純水設備在制取超純水的過程中有一個很重要的步驟就是通過反滲透膜去除水中的雜質,長期使用后反滲透膜也會因為一些原因被堵塞,這就是我們常見的半導體超純水設備堵塞問題。下面我們就來看下這半導體超純水設備的堵塞問題是怎么形成的:
一、化學結垢問題:在半導體超純水設備的原水中含有大量的無機物離子,原水沒經過處理之前,一般來說,離子的濃度是不會達到飽和度,也就不會發生生成水垢的問題。但是,當原水經過反滲透系統之后,源水按反滲透系統75%的回收率計算的話,濃水已經經過了4倍的濃縮,這時候水質的離子濃度已經遠遠達到其飽和度,這時候就會結晶析出,生成水垢,這就是半導體超純水設備堵塞問題中的化學結垢問題。
二、生物污堵問題:我們都知道水中除了含有大量無機物離子還有大量的微生物,特別是地表水,其微生物含量非常高。如果我們使用天然水作為半導體超純水設備的原水時,會有大量的微生物進入到反滲透系統中,而且,我們得使用環境一般來說是20攝氏度到40攝氏度,這一溫度下非常適合微生物的生長,微生物在這個環境下會快速繁殖生長,使其含量達到一個很高的水平。隨著微生物含量的增加就會變成我們所受的生物污堵問題。對于生物污堵問題,我們要在預處理環節對原水進行一定處理,使進入半導體超純水設備的微生物含量盡量減少,同時,我們也要定期對設備進行殺毒滅菌處理。
三、懸浮物、膠體污堵:這個我們就很好理解了,大家都知道的,水中有很多各種各樣的懸浮物質、溶解物質和膠體物質。在反滲透膜對水和溶質進行分離的時候,如果反滲透原水中的懸浮物和膠體物質在膜表面出現堆積現象就會使反滲透膜受到污染,形成懸浮物、膠體污堵。對于這種情況,我們可以根據原水水質來選擇預處理裝置,對原水進行適當的處理,減少進入反滲透系統懸浮物膠體等。
半導體超純水設備在日常運行時,由于操作不當,還會出現其他各種各樣的問題,如果不及時解決,就會影響設備的出水水質以及設備的使用壽命,因此半導體超純水設備日常維護保養非常重要。
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