產品用途:Product Applications
●FF型復合分子泵用來獲得高真空和超高真空,其廣泛應用于高能加速器、可控熱核反應裝置、等離子體物理空間研究、表面物理和分析儀器、半導體和光學元器件制造、平板顯示、太陽能電池、真空鍍膜、真空冶煉等涉及真空技術的電子、冶金、化工、科研等眾多領域。
產品特點:Product Features
●高壓強段保持較大、穩定的抽速;
●前級耐壓能力強;
●抗沖擊能力強;
●易獲得清潔的高真空或超高真空;
●設計的轉子,安全性高;
●特殊的冷卻系統,散熱性好;
●振動小、噪音低;
●結構緊湊,安裝、維護方便。
Model FF Compound Molecular Pump
技術參數Technical specifications:
型號 Model | FF-250/1600 | FF-160/620 | |
******工作壓力Minimum operational pressure(Pa) | <1×10-6 | <6×10-7 | |
抽氣速率(對空氣)Pumping speed for air(L/s) | 1700 | 600 | |
壓縮比Compression ratio | 對氮氣 For N2 | >108 | >109 |
對氫氣 For H2 | >5×103 | >6×103 | |
進氣口法蘭Inlet flange | LF250(DN250 IS0-K) | DN160CF | |
排氣口法蘭Outlet flange | KF50(DN50 IS0-KF) | KF40 | |
啟動時間Starting time(min) | ≤8 | ≤5 | |
額定轉速Rated rotational speed (r/min) | 27000 | 27000 | |
振動值Libration value(μm) | ≤0.1 | ≤0.1 | |
注油量Oiling capacity (ml) | 210 | 210 | |
推薦前級泵Recommended forevacuum pump | 2XZ-15D(15L/s) | 2XZ-4B/2XZ-8D(4-8L/s) | |
軸承Bearing | 精密陶瓷球軸承 Precision ceramic balls bearing | 精密陶瓷球軸承 Precision ceramic balls bearing | |
安裝方式Operational orientation | 豎直Vertical(±5°) | 豎直Vertical(±5°) | |
冷卻方式Cooling method | 水冷 Water cooling | 水冷 Water cooling | |
冷卻水溫度Cooling water temperature(℃) | ≤25 | ≤25 | |
冷卻水壓力Cooling water pressure(MPa) | 0.196 | 0.196 | |
泵體烘烤溫度Pump body baking temperature(℃) | ≤100 | ≤100 | |
環境溫度Environment temperature(℃) | 5~40 | 5~40 | |
重量Weight(Kg) | 47 | 30 |