FSM360是一臺(tái)全自動(dòng)紫外線——可見(jiàn)光RAMan儀器,主要用與測(cè)量芯片應(yīng)力。
利用微米直徑光斑照射。
芯片會(huì)產(chǎn)生另外一個(gè)光束(Raman信號(hào)),Raman信號(hào)的頻率有別于原來(lái)的光源。
從Raman信號(hào)頻率我們可以測(cè)出樣本的應(yīng)力大小。
紫外線Raman主要用于薄膜或樣本表面的應(yīng)力測(cè)量。
可見(jiàn)光Raman主要用于多層薄膜或厚樣本的應(yīng)力測(cè)量。