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薄膜應力及基底翹曲測試設備

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具體成交價以合同協議為準

公司名稱鉑悅儀器（上海）有限公司
品牌
型號FSM 128
所在地上海市
廠商性質其他
更新時間2025/5/13 8:18:33
訪問次數54

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公司介紹主營產品

鉑悅儀器自 2004年成立以來，憑借與世界各大儀器品牌的戰略合作關系，以及不斷優化公司自身經營管理，提高服務質量，成為中國國內的儀器供應商。鉑悅儀器所提供的產品均屬于高科技行業，產品包括高精度的分析儀器、檢測儀器和生產設備，以及配套的耗材和配件，這些產品廣泛應用于生命科學、工業、半導體、太陽能、醫藥、醫療器械、生物、能源、電子、石化等各個領域并服務于各大院校、研究所、檢測機構、及政府部門等。鉑悅儀器不僅擁有高品質的產品，更培養了專業的銷售、技術和售后服務團隊，本著客戶至上的原則，從客戶的實際需求出發，鉑悅儀器為每一位客戶量身訂制的綜合解決方案，并提供持續而良好的售后服務，由此也獲得了廣大客戶的信任與認可。鉑悅儀器的總公司設立在上海，并在北京、廣州、成都等共設立了七個辦事處，在能及時引進技術的同時，保證了鉑悅儀器能快速、有效的為全國各地的客戶提供良好的服務。

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產品簡介在線詢價

產品描述：FSM128系列設備，裝備有光學掃描系統。

薄膜應力及基底翹曲測試設備產品信息

薄膜應力及基底翹曲測試設備簡介
FSM推出基于商業化應用的激光掃描光學杠桿（Optilever）技術，主要應用于薄膜應力和晶圓彎曲測量。該設備頻繁使用在分析解決諸如薄膜裂紋，分層，突起和空隙是如何形成的問題。FSM128系列設備，適合在半導體，三-五族，太陽能，微機電，數據存儲和液晶面板行業的下一代器件的研發和生產中使用。

快速&非接觸激光掃描

3-D 視圖 &輪廓圖

可在室溫&高溫環境下測量

適用晶圓尺寸 50-300mm(如有其它尺寸測量需求可定制)
可使用機械手臂搬送晶圓

主要設計特性:
· 多用途
FSM 128 NT 可以兼容測量50-200mm尺寸晶圓，而無需更換晶圓樣品載片臺。FSM 128系列其它型號主要針對其它尺寸樣品設計。(例如：FSM128L可以測量大到300mm尺寸的晶圓樣品，而FSM 128G則專門設計來測量尺寸大到650 x 550mm的面板樣品)
· 樣品容易放置和回收
設計的可自動伸縮開關門機構，方便從樣品載片臺上放置和回收晶圓樣品，使多片晶圓測量變得輕而易舉。
· 自動切換雙波段激光
FSM128系列具有的自動激光切換掃描技術.當樣品反射率不好時，系統會自動切換到不同波長的另外一只激光進行掃描。這使客戶可以測量包括Nitride，Polyimides, Low K，High K,金屬等幾乎所
有的薄膜而不會遇到無法測量的問題。
· 2-D & 3-D Map
FSM128配備有馬達驅動的可旋轉載片臺，可以快速生成2-D&3D Map圖幫助用戶可以看到整片晶圓的曲率和應力變化分布，并準確反映出工藝和均勻性有問題的區域。
· 薄膜厚度
FSM128可以整合介電材料薄膜的厚度測量功能，使設備變成一臺可以在研發和生產環境下靈活使用強大的桌面型設備。