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廣電計量檢測集團股份有限公司

滑道式PECVD系統

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱鄭州科佳電爐有限公司
  • 品       牌
  • 型       號KJ-T1200-S
  • 所  在  地鄭州市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2025/5/12 11:27:47
  • 訪問次數96
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鄭州科佳電爐有限公司是一家專業從事熱處理產品的研發、生產與銷售的。公司產品涵蓋箱式馬弗爐,管式電阻爐,真空爐,氣氛爐,CVD系統,牙科爐,升降爐,軌道爐等,廣泛用于粉末冶金、真空釬焊、陶瓷燒結、電池材料干燥、金屬光亮處理、零部件退火、科學研究等多個領域。 十多年來,公司堅持以客戶需求為導向,致力于不斷提高產品品質和完善技術服務,憑借過硬的技術、豐富的實踐積累,先后研發出了一系列具有水準的實驗電爐和工業窯爐,并獲得多項產品的。公司的產品和服務受到眾多國內外客戶的肯定與贊賞,產品遠銷到美國、德國,意大利,法國、俄羅斯,加拿大、英國、澳大利亞,土耳其、印度、巴基斯坦、伊朗、南非、巴西、泰國、新加坡等三十多個國家和地區。 科佳電爐擁有完整、科學的質量管理體系,標準化的生產制造車間,具有年產1000臺電爐生產制造能力,生產規模位居,是國內具有影響力的實驗電爐、工業窯爐生產制造商。公司被評為,并聯合多所重點科研院校共同建立了多個技術研發項目,為每一位客戶提供高技術含量的產品解決方案和優質的服務! 鄭州科佳電爐有限公司的誠信、產品品質和售前售后服務已獲得業界的廣泛認可,公司將繼續秉承以誠信廣交天下朋友,以品質贏取市場的理念,真誠希望與各界朋友,攜手共進,合作共贏!
產品介紹:滑道式PECVD系統由PT-1200T管式爐加熱系統、真空系統、質量流量計供氣系統、等離子射頻電源系統組成
滑道式PECVD系統 產品信息
產品介紹:
    滑道式PECVD系統由PT-1200T管式爐加熱系統、真空系統、質量流量計供氣系統、等離子射頻電源系統組成。借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。

產品應用:
   PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。 該系統廣泛應用于沉積高質量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質薄膜、光學薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等。
  
產品參數:
 
產品名稱 滑道式PECVD系統
滑軌管式爐部分
產品型號 KJ-T1200-S6044-LK-Z
加熱區長度 440mm
爐管直徑 直徑60mm
工作溫度 ≦1100℃
溫度 1200℃
測溫元件 K型熱電偶
溫控系統 PID微電腦可編程自動控制
控溫精度 ±1℃
溫控保護 具有超溫和斷偶保護功能
升溫速率 0-20ºC/min
加熱元件 高電阻電熱合金絲OCr27A17Mo
工作電壓 AC 220V 單相 50HZ 
滑軌設計 能實現快速升降溫
爐膛材料 采用多晶纖維爐膛材料,材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡
密封系統 該爐爐管與法蘭之間采用O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好
爐  管 高純石英管
法   蘭 不銹鋼法蘭,方便拆卸,放取材料
爐殼溫度 ≤45℃
                     真空系統部分
名稱 高真空分子泵組
主要參數 真空泵極限真空度10-3 pa(包含KF25接口和可移動箱體)
真空計測量范圍 其測量范圍為1×105--1×10-5pa
氣路系統部分
名稱 四路質量流量計
氣路 四路
流量控制 每路氣體含有針閥單獨控制
流量計 質量流量計
流量范圍 0-1000sccm可調
工作環境溫度 5℃-45℃
等離子電源系統
匹配功率范圍 0-500W
工作頻率 13.56MHZ+0.005%
正常工作反射功率 <3W
匹配時間 <3S
傳輸效率 >90%
匹配器電源 AC220V/50-60HZ
輸入連接器 N型
輸出連接器 UHF
控制模式 手動/自動
可設預置點數 7
認證 、CE認證
售后服務 質保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質保范圍)

 

 

 

 1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優質的維修服務。
 2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
 3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
 4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
 5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
 6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。

 

 

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