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廣電計量檢測集團股份有限公司

旋轉PECVD系統

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱鄭州科佳電爐有限公司
  • 品       牌
  • 型       號KJ-T1200-S
  • 所  在  地鄭州市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2025/5/12 11:25:01
  • 訪問次數90
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鄭州科佳電爐有限公司是一家專業從事熱處理產品的研發、生產與銷售的。公司產品涵蓋箱式馬弗爐,管式電阻爐,真空爐,氣氛爐,CVD系統,牙科爐,升降爐,軌道爐等,廣泛用于粉末冶金、真空釬焊、陶瓷燒結、電池材料干燥、金屬光亮處理、零部件退火、科學研究等多個領域。 十多年來,公司堅持以客戶需求為導向,致力于不斷提高產品品質和完善技術服務,憑借過硬的技術、豐富的實踐積累,先后研發出了一系列具有水準的實驗電爐和工業窯爐,并獲得多項產品的。公司的產品和服務受到眾多國內外客戶的肯定與贊賞,產品遠銷到美國、德國,意大利,法國、俄羅斯,加拿大、英國、澳大利亞,土耳其、印度、巴基斯坦、伊朗、南非、巴西、泰國、新加坡等三十多個國家和地區。 科佳電爐擁有完整、科學的質量管理體系,標準化的生產制造車間,具有年產1000臺電爐生產制造能力,生產規模位居,是國內具有影響力的實驗電爐、工業窯爐生產制造商。公司被評為,并聯合多所重點科研院校共同建立了多個技術研發項目,為每一位客戶提供高技術含量的產品解決方案和優質的服務! 鄭州科佳電爐有限公司的誠信、產品品質和售前售后服務已獲得業界的廣泛認可,公司將繼續秉承以誠信廣交天下朋友,以品質贏取市場的理念,真誠希望與各界朋友,攜手共進,合作共贏!
產品用途:PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜
旋轉PECVD系統 產品信息
產品用途:
PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。 該系統廣泛應用于沉積高質量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質薄膜、光學薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等
,是科研機構和大學實驗室的理想產品。

產品介紹:
該設備是一款定制的PECVD系統,增加了傾斜、旋轉功能。該系統包含等離子射頻電源,高溫管式爐,4通道質量流量供氣系統和分子泵機組。可用于生長納米或石墨烯材料。

技術參數:
產品名稱 定制旋轉PECVD系統
滑軌管式爐部分
產品型號 KJ-T1200-S80-DZPECVD-R
爐管尺寸 80*長度1600mm
可選其他直徑Φ50,60,80,100,120,150mm
爐管材質 石英管
加熱區 單溫區,溫區長度400mm
工作溫度 1100℃
溫度 1200℃
溫控方式 K型熱電偶
控制方式 觸屏控制
控溫精度 ±1℃
溫控保護 具有超溫和斷偶保護功能
升溫速率 0-20ºC/min可調  ,建議10ºC/min
加熱元件 含鉬電阻絲
工作電壓 AC 220V 單相 50HZ (電路電壓用戶可選擇定制)
加熱功率 3KW
爐膛材料 氧化鋁多晶纖維
法蘭接頭 標配配有不銹鋼真空法蘭,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥
密封系統 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,磁流體密封,氣密性好可實現爐管旋轉過程中的高真空。
真空系統部分
主要參數 采用高真空分子泵組,爐管內真空度可達10-3pa
氣路系統部分
名稱 四路質量流量計(量程可選)
等離子電源部分
功率范圍 0-500W(連續可調)
售后服務 質保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等及人為損壞不屬于質保范圍)
更多規格可根據客戶需求定制
 

 

 

 

 1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優質的維修服務。
 2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
 3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
 4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
 5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
 6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。

 

 

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