First-Nano System GmbH
2003年 創立于德國德累斯頓工業大學（Dresden University of Technology）
2008年 香港成立德國韋氏納米系統（香港）有限公司
2015年 上海成立德國韋氏納米系統（香港）有限公司中國代表處，負責中國區業務
2018年 深圳正式成立韋氏納米系統（深圳）有限公司，更好的為中國南方區市場
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產品范圍：
薄膜沉積/Thin Film Deposition
E-Beam and Thermal Evaporation, PECVD, PLD, DLC, DC & RF Sputtering, Ion Beam Sputtering
刻蝕/Etching
RIE, DRIE, ICP, Ion Beam Milling, RIBE, Plasma, ALE
薄膜制程/Growth
ALD, PA-MOCVD, CNT, Graphene
表面處理/Surface Treatment
Ion Beam, PIII, Plasma Cleaner, RTP
清洗/Cleaning
- Dry: Ion Beam, Plasma Cleaner
- Wet: Megasonic, 杜邦EKC清洗液
等離子清洗機又稱等離子表面處理設備，Tergeo-EM等離子清洗機集于SEM/TEM樣品/樣品桿表面清洗、拋光、處理與一體，操作簡單，具有浸泡式等離子清洗、遠程式等離子清洗兩種模式。
等離子清洗機又稱等離子表面處理設備，Tergeo-EM等離子清洗機集于SEM/TEM樣品/樣品桿表面清洗、拋光、處理與一體，操作簡單，具有浸泡式等離子清洗、遠程式等離子清洗兩種模式。
等離子清洗機又稱等離子表面處理設備，Tergeo-EM等離子清洗機集于SEM/TEM樣品/樣品桿表面清洗、拋光、處理與一體，操作簡單，具有浸泡式等離子清洗、遠程式等離子清洗兩種模式。
實時監測等離子體強度 |
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Tergeo內置的等離子濃度傳感器，實時顯示等離子濃度。用戶可根據等離子濃度來調節氣體流速及射頻能量。可根據樣品來設定差異化的參數，滿足多種樣品的清洗需求 |
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