多晶硅作為制作太陽能電池的主要原料，近年來得到巨大發展。不管是改良西門子法還是硅烷法生產工藝中都存在大量過濾分離器，用于硅粉收集、氯硅烷循環洗滌、循環水再利用等工序。結合諸多項目經驗，奕卿提出了自己的過濾工藝解決方案。

污染物及雜質：

1.未*反應的硅粉顆粒；
2.循環液帶入的管道中的雜質；
3.進料帶入的固體粉塵與雜質；
4.合成反應生成的固體雜質；

5.這些顆粒的存在是影響生產穩定、換熱效率的重要原因。的過濾與分離裝置不僅保護了生產設備的工藝安全，同時也提升了產品產量。

高溫尾氣凈化

尾氣過濾應用在多晶硅生產的各個工藝段,對多晶硅的生產起到重要作用,尤其目前行業低位運行期間,對多晶硅產品降低成本至關重要：

a.廢氣廢液工位的煙氣過濾；
b.還原爐尾氣分離；
c.氫化爐尾氣分離；
d.硅粉槽硅粉過濾等。

1、還原尾氣分離

在SiCl4氫化氣和SiHCl3還原氣通過干法分離后，H2和HCl得以回收利用，在H2回用前需過濾氣體中含有的未反應硅粉和生成的石墨粉，保證氫氣純凈，使氫化反應和還原反應更穩定、。

2、廢氣、廢液焚燒處理

在多晶硅生產工藝中，廢氣廢液處理一直是困擾企業的難題之一。傳統的噴淋處理工藝，處理成本高，浪費嚴重，環保問題嚴峻。

解決方案：

奕卿采用干法分離技術，將廢氣廢液在爐內燃燒，生成SiO2粉末，通過分離收集SiO2粉末產生的經濟效益。同時解決環保達標排放問題。

工藝優勢：

1廢氣廢液集中處理，工藝流程短，操作簡單；
2回收的SiO2粉末產生的經濟效益；
3氣體經燃燒后，符合環保要求，可直接放空處理，經濟環保。