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靈巧型勻膠機

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靈巧型勻膠機 型號:EZ6
  EasyCoater 6勻膠機被設計為涂膠處理小碎片至6英寸圓晶尺寸底物,使用工業級直流馬達和單片機控制,5寸全彩觸屏人機界面操作,簡單易用。EZ6勻膠機在材料、化學或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備,納米薄膜研究等相關領域。 
  EZ6勻膠機設計標準為結構緊湊、簡單易用,程控操作,且能夠升級自動點膠功能,尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內進出,具有優異的性價比。亦可提供分體式設計,進行嵌入式安裝,與手套箱進行配合。 

產品性能參數: 


支持wafer尺寸:1cm-150mm(6"圓晶) 

速度可調范圍:200-10000rpm 
加速度可調范圍:100-10000rpm/s 
轉速分辨率:1rpm  
轉速精度:<±5rpm 
可編程10組10步程序  
寬電壓輸入:AC100-230V 
產品特性優點: 
100W 直流無刷電機,PLC 控制 
5”全彩觸摸屏  
系統中英文可選 

帶一只自動點膠端口,可升級自動點膠功能 
HDPE 內腔,SUS 外殼,耐溶劑PC 透明蓋  
真空互鎖及蓋子開關互鎖安全功能 
產品外型尺寸:358mm(D)*256mm(W)*258mm(H) 

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