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晨穹電子科技(河北)有限公司


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技術文章

精度為0.05%FS 的石英差壓壓力芯體

閱讀:16發布時間:2025-1-10

原理

    基于石英諧振原理,以石英基膜作為感壓元件,當外界輸入壓力時,引起石英基膜發生應變,導致與感壓膜剛性連接的石英振梁的諧振頻率發生變化,從而實現壓力測量。外配激振電路,即可將輸入的壓力轉換為頻率輸出。

優勢

1、感壓模式石英晶體感知壓力變化,溫漂系數小,穩定性高,石英晶體本身決定的,它的彈性模量或者說楊氏模量比硅的小一半。所以,對于硅材料來說,石英材料本身存在一定的優勢。

2、材料石英諧振芯體相對陶瓷或者金屬的,體積更小,穩定性更強,技術含量更高。全石英結構設計,上面采用了ack,面板就是一個接口電路,把差動電容的變化轉化成數字量 還有一個溫度測量功能,這樣客戶在使用時不用再設計微弱信號減弱,直接用單片機把數據讀取出來。

3、工藝基于石英QMEMS工藝,石英改良模及石英振梁的一體化加工,這個技術有自主知識產權,在國內也是批量生產化生產。

4、創新方案石英加工技術和傳感器微弱信號檢測ic技術。

5、結構石英絕壓芯體(表頭/機械部件):有三條梁組成,中間這個是音差/感壓枕梁,外面有壓力輸入會引起感壓枕梁的頻率變化,上面是基本枕梁(不受壓力變化影響,但是會隨著溫度發生變化),下面是一個配重枕梁,基本枕梁和配重枕梁的差值就是感壓枕梁,從而提高產品的精度。

6、封裝材料封裝的材料一半是316L

7、輸出信號壓力直接可轉成頻率信號,產品主要通過頻率的變化反應壓力的變化。

應用領域

氣壓高度表、飛行器大氣數據系統、液位測量、壓力變送器、流量測量、工業控制,能源行業,具體包括制藥行業、監測油井和天然氣井海洋工程、電蒸汽鍋爐過程測量等需要高精度、長期穩定性、溫度特性、靜壓特性等領域。




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