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北京科翰龍半導體裝備科技有限公司
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數控晶圓倒角機WGM-600/800為晶圓磨邊、晶圓倒角的專用設備，利用精密砂輪對晶圓進行研磨整形加工
數控晶圓倒角機WGM-600/800為晶圓磨邊、晶圓倒角的專用設備，利用精密砂輪對晶圓進行研磨整形加工。適用于2″- 6″晶圓、4″- 8″晶圓
可加工T型、R型、RR型等多種邊形的晶圓
按照設定參數數控自動倒角加工
可加工參考邊型晶圓及圓片
自動進行粗研及精研加工
可加工方片等異形晶圓
可自動檢測晶圓直徑
配備晶圓清洗功能
配備晶圓干燥功能
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