污水處理設備 污泥處理設備 水處理過濾器 軟化水設備/除鹽設備 純凈水設備 消毒設備|加藥設備 供水/儲水/集水/排水/輔助 水處理膜 過濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設備
北京科翰龍半導體裝備科技有限公司
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采用雙面無接觸的方式對晶圓進行清洗或蝕刻的專用設備，適用于2-6晶圓、4″-8″晶圓、8″-12″晶圓
采用雙面無接觸的方式對晶圓進行清洗或蝕刻的專用設備，適用于2"-6"晶圓、4″- 8″晶圓、8″- 12″晶圓。
工藝過程可編程，適應不同工藝需求
可對正面及背面同時進行清洗或腐蝕
采用雙手指機械臂傳送晶圓
采用雙面無基礎清洗載物臺
配備藥液控溫單元
配備自動配藥單元
可選配PVA刷洗功能
可選配兆聲單元
可選配自動滅火單元
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