隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速?gòu)拿棵肓泓c(diǎn)幾升到每秒幾十萬(wàn)、數(shù)百萬(wàn)升。隨著真空技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對(duì)其應(yīng)用壓強(qiáng)范圍的要求越來(lái)越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過(guò)程的要求，由于真空應(yīng)用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能WQ適用于所有的工作壓力范圍，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過(guò)程的需要，有時(shí)將各種真空泵按其性能要求組合起來(lái)，以機(jī)組型式應(yīng)用。

常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵等，這些泵是我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過(guò)程中B不可少的主力泵種。近年來(lái)，伴隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)持續(xù)高速發(fā)展，真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長(zhǎng)勢(shì)頭，同時(shí)在真空泵應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展等因素的共同拉動(dòng)下，我國(guó)真空泵行業(yè)實(shí)現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展。

BAND-IT A30199 扎帶槍緊帶機(jī)美國(guó)邦固

A40199 扎帶槍BAND-IT 美國(guó)進(jìn)口1/4英寸鋼扎帶

普利森PA4050-N1

美國(guó)派克漢尼汾SA1508

日本宇部MI-510F

日本宇部DM-BB2

美國(guó)捷能GENERON 6150C完整型號(hào)美國(guó)捷能GENERON 6150CP

EMG電動(dòng)缸EMG伺服閥

EMG LLS 1075 線性光源發(fā)射器

ESSV1-10/8/315/6 糾編伺服閥

SV1-10/16/315/8 伺服閥

EMG光電式測(cè)量傳感器 EVM2-CP/1850 71/L/R

EMG高頻光源發(fā)射器 LLS875/01

EMG數(shù)字式控制器 ICON SE+VS/AE1054

EMG適配器 EVB03.01

EMG對(duì)中光源發(fā)射器LID2-800.2C

EMG KLW300-012

EMG CPC LS14.02

EMG KLW 360.012

EMG EPC EVM2-CP/1300.71/L/R

EMG EPC CCDPro 5000

EMG CPC LS13.01

EMG電動(dòng)缸LLS 675/02

（1）泵總體結(jié)構(gòu)型式

真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。

立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。

臥式泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下。有時(shí)為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。此時(shí)，排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重心低，高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。

泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制，轉(zhuǎn)子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤(rùn)滑機(jī)構(gòu)也相對(duì)復(fù)雜。

（2）泵的傳動(dòng)方式

真空泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子是通過(guò)一對(duì)高精度齒輪來(lái)實(shí)現(xiàn)其相對(duì)同步運(yùn)轉(zhuǎn)的。主動(dòng)軸通過(guò)聯(lián)軸器與電機(jī)聯(lián)接。在傳動(dòng)結(jié)構(gòu)布置上主要有以下兩種：其一是電動(dòng)機(jī)與齒輪放在轉(zhuǎn)子的同一側(cè)如圖。從動(dòng)轉(zhuǎn)子由電動(dòng)機(jī)端齒輪直接傳過(guò)去帶動(dòng)，這樣主動(dòng)轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小，則兩個(gè)轉(zhuǎn)子之間的間隙不會(huì)因主動(dòng)軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變，故使轉(zhuǎn)子之間的間隙在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中均勻。這種傳動(dòng)方式的最大缺點(diǎn)是：a.主動(dòng)軸上有三個(gè)軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調(diào)整也不便；b.整體結(jié)構(gòu)不勻稱，泵的重心偏向電動(dòng)機(jī)和齒輪箱一側(cè)。

EMG 伺服閥 SV1-10/32/315-6

EMG 伺服閥 SV1-10/16/315/6

EMG 伺服閥 SV1-10/8/315/6

EMG 伺服閥 SV1-10/48/315/6

EMG 伺服閥 SV1-10/8/120/6

EMG 伺服閥 SV1-10/16/120/6

EMG 伺服閥 SV1-10/8/315/6

EMG 伺服閥 SV1-10/16/120/6

EMG 伺服閥 SV1-10/48/315-6

EMG 伺服閥 SV1-10/16/315-6

EMG 伺服閥 SV1-10/8/100-6

EMG 傳感器 KLW 300.012

EMG 傳感器 KLW 150.012

EMG 傳感器 KLW 225.012

EMG 傳感器 KLW 360.012

EMG 傳感器 KLW150.012

EMG 傳感器 KLW225.012

EMG 傳感器 KLW300.012

EMG 傳感器 KLW450.012

EMG 傳感器 KLW600.012

SV1-10/8/315/6 伺服閥 EMG

SV1-10/48/315/6伺服閥 EMG

SV1-10/32/100/6 伺服閥 EMG

SV1-10/8/120/6 伺服閥 EMG

SV1-10/4/120/6 伺服閥 EMG

SV2-16/125/315/1/1/01伺服閥EMG

HFE400/10H濾芯EMG

KLM300/012位移傳感器EMG

LLS675/02 LICHTBAND對(duì)中整流器EMG

LIC1075/11光發(fā)射器EMG

EVK2.12電路處理板EMG

BK11.02電源EMG

MCU16.1處理器EMG

VKI3-11-200/1600/750/M/E/W/A/EMG

LID2-800.2C 對(duì)中光源發(fā)射器EMG

DMC2000-B3-160-SMC002-DCS電動(dòng)執(zhí)行器EMG

KLW300.012位移傳感器EMG

LIC2.01.1電路板EMG

EMG推動(dòng)桿EB1250-60IIW5T

EMG推動(dòng)桿EB800-60II

EMG推動(dòng)桿EB220-50/2IIW5T

EMG推動(dòng)桿EB300-50IIW5T

EMG發(fā)射光源L1C770/01-24VDC/3.0A

EMG制動(dòng)器ED121/6 2LL5 551-1

EMG光電探頭EVK2-CP/800.71L/R

EMG放大器EVB03/235351

CLOOS控制柜底板 033590720
CLOOS PCIF板033592000
CLOOS  CPU  033590050

特點(diǎn)

(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速；

(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對(duì)稱性，故振動(dòng)小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤(rùn)滑，摩擦損失小，可大大降低驅(qū)動(dòng)功率，從而可實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；

(3)泵腔內(nèi)無(wú)需用油密封和潤(rùn)滑，可減少油蒸氣對(duì)真空系統(tǒng)的污染；

(4)泵腔內(nèi)無(wú)壓縮，無(wú)排氣閥。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，對(duì)被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；

(5)壓縮比較低，對(duì)氫氣抽氣效果差；

(6)轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。

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