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意塔爾真空科技（東莞）有限公司
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電機功率(50Hz):22Kw抽速 (50Hz): 540/650m3/h極限壓力:≤1Pa
| 參數 | 單位 | ETR-SV650E |
|---|---|---|
| 額定流量 | m3/h | 540/650 |
| 極限壓力 | Pa | ≤1 |
| 電機功率 | Kw | 22 |
| 電壓 | V | 220~380 |
| 進氣口 | ISO100 | |
| 排氣口 | ISO63 | |
| 冷卻水流量 | L/min | 6~15 |
| 冷卻水壓力 | kg/cm2 | 2~4 |
| 冷卻水溫度 | ℃ | 18~30 |
| 冷卻水接頭 | RC 3/8" | |
| 氮氣壓力 | Mpa | 0.15~0.20 |
| 氮氣稀釋流量 | L/min | 0~60 |
| 氮氣密封流量 | L/min | 0~20 |
| 氮氣接頭 | Swagelok 1/4" | |
| 噪音 | dB（A） | ≤80 |
| 重量 | kg | 1520 |
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