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日本mitakakohki 非接觸式表面粗糙度測量裝置PF系列
通過使用可實現指數測量速度提高 50 倍的掃描 AF 功能和高精度自動 XY 工作臺,我們實現了數十毫米寬范圍內的高速測量,測量精度達到亞微米級。
非常適合測量無法使用截面曲線檢測到的精密加工零件的翹曲、成型產品的缺陷形狀以及摩擦學中磨損和劃痕的定量評估。
特征
量程寬、測量精度高
使用半徑為R0.5μm的激光探頭和高精度XY平臺,我們可以直接測量數十毫米的范圍,測量精度為亞微米級。
菲涅耳透鏡 X=4.498mm Y=4.501mm Z=4.733μm
衍射光柵 X=4.498mm Y=4.501mm Z=4.733μm