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什么是主動(dòng)磁屏蔽(磁場(chǎng)消除器)?

2023-4-14  閱讀(447)

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近年來,電子束設(shè)備的性能有了顯著提高,但另一方面,允許的磁場(chǎng)也越來越嚴(yán)格。主動(dòng)式磁屏蔽(磁場(chǎng)消除器)通過3軸磁場(chǎng)控制器以高靈敏度檢測(cè)干擾的波動(dòng)磁場(chǎng),通過由XYZ 3軸組成的亥姆霍茲線圈產(chǎn)生抵消它的磁場(chǎng),并抑制磁場(chǎng)線圈內(nèi)部的磁場(chǎng)波動(dòng)。用于控制和穩(wěn)定線圈的磁場(chǎng)發(fā)生器 通過引入該產(chǎn)品,即使在磁環(huán)境非常不穩(wěn)定的地方,也可以充分展示電子束設(shè)備的性能。

也可以將抵消線圈安裝在設(shè)備的框架上。半導(dǎo)體測(cè)量和檢測(cè)設(shè)備無需占用大的安裝面積。


主要用途

  • ?電子顯微鏡(TEM/SEM)

  • ?電子束掩模寫入器

  • ?口罩檢查設(shè)備

  • ?質(zhì)譜儀

  • ?聚焦離子束(FIB)


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