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張家港普瑞倫半導體設備有限公司
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● 關于混合過濾器精密過濾精度的氣體過濾器的入口/出口的接口部分安裝墊圈型氣體過濾器，可以對配管中的0.3μm以上或者1μm以上的大粒子進行初步過濾，可以發揮防止精密氣體過濾器和流量控制器的堵塞，防止金屬密封閥等的密封不良造成的氣體泄漏等作用。
關于混合過濾器
精密過濾精度的氣體過濾器的入口/出口的接口部分安裝墊圈型氣體過濾器，可以對配管中的0.3μm以上或者1μm以上的大粒子進行初步過濾，可以發揮防止精密氣體過濾器和流量控制器的堵塞，防止金屬密封閥等的密封不良造成的氣體泄漏等作用。
※ 配管的密封接口部分的墊圈可以單獨安裝。
※ 無需改造現有的配管，也能安裝。
● 過濾器材質采用ＳＵＳ３１６Ｌ制造。
● 墊圈材質采用ＳＵＳ３１６Ｌ或鎳。
● 配管的密封接口部分的墊圈可以單獨安裝，無需改造現有的配管，也能安裝。
規格：
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