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上海衡鵬企業發展有限公司


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4軸機械臂4軸水平多關節型潔凈機械手臂

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海

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更新時間:2024-06-11 09:50:25瀏覽次數:109次

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產品簡介

4軸水平多關節型潔凈機械手臂特點:超潔凈間用多軸型,4軸水平多關節型清潔機械手GCR4000-AM系列適用于支持300mm的半導體制造裝置內,檢查裝置等的晶圓搬運機械手臂標準臂長:210mm,280mm機械手臂可以單獨對應2個FOUP適應設備需求可以選擇底座固定方式

詳細介紹

4軸水平多關節型潔凈機械手臂特點: 


超潔凈間用多軸型, 4軸水平多關節型清潔機械手GCR4000-AM系列

適用于支持300mm的半導體制造裝置內, 檢查裝置等的晶圓搬運

機械手臂標準臂長:210mm, 280mm

機械手臂可以單獨對應2個FOUP

適應設備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式

配備動作監視器

控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式

全軸采用值編碼器規格的AC伺服電機

S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運玻璃基板

AC伺服電機的采用以及,對運動軌跡的優化實現了搬運動作的高速化

比GHR4000類型速度快了1.8倍

晶圓固定方式:真空吸附式, 下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式

手指材質:CFRP(碳纖維), 鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質

可以針對被搬運物體種類,設備布局等要求提供的手指


4軸水平多關節型潔凈機械手臂基本參數


使用環境

潔凈間內的大氣環境

手臂

單臂

到達距離

400mm (手臂第3關節中心到達距離)

升降軸行程

300mm / 400mm / 500mm

可搬運質量

4kg (手臂第3關節處基準)




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