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成都維克安科技有限公司
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1量程范圍（0~5
| 1 | 量程范圍 | （0~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM （0~1,2,3,5,10, 50,100,200,500...） SLM |
| 2 | 準確度 | +1.0%F.S |
| 3 | 線性 | +0.5~1.5%F.S |
| 4 | 重復精度 | +0.2%F.S |
| 5 | 響應時間 | 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec |
| 6 | 工作壓差 | （0.1~0.5）MPa |
| 7 | 耐壓 | 3MPa |
| 8 | 工作環境溫度 | 0~70℃ |
| 9 | 數字量 | RS485 MODBUS協議 |
| 10 | 模擬量 | DC 0~5V ，4~20mA 可選 |
| 11 | 供電 | DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA |
| 12 | 電氣連接 | DB15 |
| 13 | 漏率 | 1×10-8SCCSHe |
| 14 | 底座材質 | 316L不銹鋼 |
| 15 | 密封材質 | 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠 |
| 16 | 氣路接頭 | Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞 |
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