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單晶硅壓力變送器和擴散硅壓力變送器的主要區別在于它們的傳感器材質和工作原理。
傳感器材質和工作原理的不同
單晶硅壓力變送器采用單晶硅片為彈性元件，在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝，在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻，并將電阻接成橋路。單晶硅片置于傳感器腔內。單晶硅諧振傳感器是一種單晶硅芯片，利用微電子機械加工技術在單晶硅片上制造兩個相同的H形諧振梁，并產生一定頻率的振動。共振頻率取決于梁的長度和張力，梁的長度已經確定，張力隨壓力變化。結果，壓力的變化被轉換為頻率的變化，頻率差技術被用于差壓，且頻率差信號被直接輸出到CPU以進行操作和轉換。需要注意的是，這種電磁激勵和電磁拾振方式特指單晶硅諧振傳感器，而非所有單晶硅壓力變送器。
擴散硅壓力變送器的傳感器是將壓力通過不銹鋼膜片與內部密封硅油傳遞到內部的敏感芯片的原理工作的。輸出快，靈敏度高，準確穩定，便于小型化生產加工，且敏感芯片可不直接接觸被測介質。但受溫度影響較大。基于壓阻效應原理和集成技術，將擴散硅壓力傳感器沿單晶硅晶片的特征晶體方向制成應變電阻，形成惠斯通電橋。利用硅材料的彈性特性和全硅材料的各向異性微加工，制作了一種集成力傳感和力電轉換檢測的擴散硅傳感器。
