K&S ARIS TT系列專為精密儀器設計的桌面主動減震臺，易與安裝的流線型設計，更方便定位的獨立支撐模塊，安裝過程無需復雜的調校。有工程師，物理學家及精密儀器領域內的專家顧問共同研發顯著的降低了環境震動帶來的干擾，使它成為精密儀器的配置。

　 特殊內置振動篩模式，確保精密儀器在不同場合的性能，可調整不同頻率和振幅，模擬真實環境條件。驗證精密機器內部部件對振動的響應，采用壓電陶瓷傳感器，精密控制對精密儀器內部共振的影響自適應對振動調整，提供給掃描電子顯微鏡更佳的工作狀態及分辨率。

臺式掃描電鏡主動減震臺技術指標：

隔振性能: 8dB gain on 1Hz(60-70%)

20dB gain on 2Hz(≥90%)

隔振自由度： 6個自由度

響應時間： ≤0.01Sec

隔振性能： 0.5-100Hz

模塊尺寸： 230×270×75mm

承載重量： 15-200kg

臺式掃描電鏡主動減震臺平面結構設計，根據設備尺寸及負載選擇合適型號，減震端子獨立工作，更加靈活，穩定性更高，當 R M S小于4 5μm時，2 H z以上減震效果大1 0倍；減震器行程更長,壓電陶瓷在1 0 H z時＜2 0 0μm ( P - P ) .安裝無需起重設備，直接放置于設備下方，減震臺的高度尺寸8 0 m m。

SEM/AFM顯微鏡主動隔振解決方案