在使用油擴散泵的高真空環境中都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點的蒸汽，但其抽除殘余氣體的能力低，時間長，而且所有殘余氣體還是工件的污染源，從而使產品的產量和質量受到影響，超低溫捕集泵則是解決這類問題的不錯選擇。
使用時是將其放到油擴散泵的泵口，它關鍵作用是避免油擴散泵返油，另外還可以加速抽速、提升真空值。因為系統軟件處在真空泵情況，不用汽車除霜設備。 依據必須,兩者能夠各自安裝還可以另外安裝，選用每臺制冷壓縮機、全自動復疊致冷方法、制冷壓縮機及制冷配件、環境保護復合型冷媒生產制造，取代液態氮，節省成本費。具備制冷更快、效率更高、溫度更低、維護保養便捷的特性。
超低溫捕集泵的日常維護：
1、經常檢查油位位置，以真空泵運轉時，油位到油標中心為準。
2、經常檢查油質情況，發現油變質應及時更換新油，確保真空泵工作正常，盡量控制真空泵的流量。
3、換油期限按實際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮，由用戶酌情決定。一般新真空泵，抽除清潔干燥的氣體時，建議在工作100小時左右換油一次。
4、一般情況下，真空泵工作2000小時后應進行檢修，檢查桷膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。
5、重新裝配后應進行試運行，一般須空運轉2小時并換油二次，因清洗時在真空泵中會留有一定量易揮發物，待運轉正常后，再投入正常工作。
6、檢查真空泵管路及結合處有無松動現象。用手轉動真空泵，試看真空泵是否靈活。
7、擰下真空泵泵體的引水螺塞，灌注引水(或引漿)。
