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霍爾效應測試系統的構成部分及其主要特征?

時間:2022/8/2閱讀:154
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霍爾效應測試儀,是用于測量半導體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數等重要參數,而這些參數是了解半導體材料電學特性必須預先掌控的,因此是理解和研究半導體器件和半導體材料電學特性必*的工具。

該儀器為性能穩定、功能強大、性價比高的霍爾效應儀,在國內高校、研究所及半導體業界擁有廣泛的用戶和知*度。儀器輕巧方便,易于攜帶,主要用于量測電子材料之重要特性參數,如載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數等,薄膜或固體材料均可

本儀器系統由:電磁鐵、高精度電源、高斯計、高精度恒流源、高精度電壓表、霍爾探頭、電纜、標準樣品、樣品安裝架、系統軟件。

自動化霍爾效應測試系統組成:

高精度磁鐵電源

※ 雙極性恒流輸出

① 電源輸出電流可在正負額定大電流之間連續變化

② 電流可以平滑過零點,非開關換向

③ 輸出電流、電壓四象限工作(適合感性負載)

④ 電流變化速率可設置范圍為0.00070.3 F.S./s(F.S.為額定大輸出電流)

※ 電流穩定度高,紋波低

①電流穩定度:優于±25ppm/h(標準型)優 于±5ppm/h(高穩型)

② 電流準確度:±(0.01%設定值+1mA 

③ 電流分辨率:20 bit,例 15A 電源,電流分辨率為 0.03mA

④ 源效應:≤ 2.0×10-5 F.S.(在供電電壓變化 10%時,輸出電流變化量)

⑤ 負載效應:≤ 2.0×10-5 F.S.(在負載變化 10%時,輸出電流變化量)

⑥ 電流紋波(RMS):小于1mA

 霍爾樣品架:

用于固定,焊接霍爾器件,四探針壓點使接觸更方便牢。高精度高斯計:分辨力:0.01Gs,量程:0-±3T,精度:0.1% ,標準 232 數字接口與控制端口。

電壓電流數采儀:

恒流源量程:±50nA-±50mA,分辨力 0.1nA 在量程范圍內連續可調,高 精 度 電 壓 數 采 儀 范 圍 0. 1uV-30V,精度:.01%內置測試矩陣轉換卡,

 電磁鐵:

極頭直徑 50mm.NS間距10mm時*大磁場1.07T,間距 20mm 時*大磁場 0.7T,可實現在*大磁場范圍內連續,變化(可調)自重 30 公斤。

歐姆接觸套件 :

專業做歐姆接觸用銦片以及相,應焊接套裝,材料標準樣片,硅片,砷化鎵 2 阻值:300-500 歐姆。

測試系統軟件:

定位采集,數字溫度顯示I-V,曲線及 I-R 曲線測量,得到體載,流子濃度等各類參數曲線圖形。






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