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渦輪分子泵如何實現(xiàn)高真空度的抽取?

閱讀:94發(fā)布時間:2023-7-9

渦輪分子泵通過以下幾個關(guān)鍵因素實現(xiàn)高真空度的抽取:

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分子流動:渦輪分子泵的工作原理基于分子流動。轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時,氣體分子被轉(zhuǎn)子葉片捕獲并帶到泵的排氣側(cè),通過連續(xù)的分子流動將氣體分子從真空室中抽出。由于分子流動的速度遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于常規(guī)氣體流動,渦輪分子泵可以實現(xiàn)高抽氣速度,從而快速降低真空室內(nèi)的氣體密度和壓力。

適當(dāng)?shù)膲嚎s比:渦輪分子泵具有一定的壓縮比,即進(jìn)入泵的氣體分子經(jīng)過泵的作用后被排出系統(tǒng)時的密度和壓力會有所增加。適當(dāng)?shù)膲嚎s比有助于將氣體分子的密度提高到足夠高的水平,使得真空度能夠達(dá)到高真空或超高真空的要求。

漏氣控制:渦輪分子泵內(nèi)部設(shè)置了導(dǎo)流器和密封裝置,以控制氣體的流動方向和減少漏氣。導(dǎo)流器的設(shè)計可以確保氣體分子在旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子的作用下沿著預(yù)定的流動路徑排出系統(tǒng),避免氣體的回流和漏氣,從而提高真空度。

輔助泵的使用:渦輪分子泵通常與其他類型的輔助泵(如機(jī)械泵)結(jié)合使用,以實現(xiàn)更高的抽氣速度和更低的壓力。輔助泵能夠在初始階段迅速排除大量的氣體,然后將氣體分子傳遞給渦輪分子泵進(jìn)行進(jìn)一步的抽取和壓縮,從而實現(xiàn)更高的真空度。

需要注意的是,實現(xiàn)高真空度的抽取不僅依賴于渦輪分子泵本身的性能,還受到真空系統(tǒng)的其他組件和操作條件的影響。例如,正確的泵排氣順序、良好的密封性、低漏率的系統(tǒng)等都對真空度的提高起著重要作用。因此,在應(yīng)用渦輪分子泵時,需要綜合考慮系統(tǒng)的其他因素,并采取適當(dāng)?shù)拇胧﹣韮?yōu)化真空度。

以上就是提供的渦輪分子泵如何實現(xiàn)高真空度的抽取的介紹。


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