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北京同林科技有限公司
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閱讀：247發布時間：2023-4-27
| 使用臭氧水 | 使用藥液 |
①僅次于氟素的強氧化能力 去除金屬，有機物強力有效 | ①使用鹽酸，硫酸，雙氧水等具有強酸性的藥液，并且藥液具有100℃左右的高溫，操作時要十分注意。 |
| ②臭氧水處理后形成氧化膜，（0.8nm左右）→晶片表面具有親水性 →晶片表面粒子數少 | ②將氨氣/雙氧水與上述①強酸一起使用的情況較多（為了除去粒子） |
③臭氧成分通過自然蒸發，或者通過使用簡易臭氧分解設備， 從而使工廠排水變為可能。 →臭氧水易蒸發，立刻變成純水 →可以使用工廠廢水管道排放臭氧水 →純水可循環利用 | ③藥液使用后，使用工廠的廢液處理設備中和處理。 → 藥液不可循環使用 |
④消耗材料價格低 →基本上只需支付氧氣費用和電費 | ④藥液成本高。（以使用浴槽式設備清洗為例計算） |
?半導體（清洗） ?FPD，液晶（清洗） ?MEMS，傳感器（清潔） ?硬盤（清洗） ?太陽能電池（清潔） ?醫療（洗手，純凈水管道清洗） ?食品（洗手，消毒，除臭） |
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