該技術與原位物化法中的氣沖技術相似，都是將空氣注入受污染區域底部，所不同的是生物氣沖的供氣量要小一些，只要能達到刺激微生物生長的供氣量即可。溶氣水供氧技術。這是由維吉尼亞多種工藝研究所(VirginiaPolytechnicInstitute)的研究人員開發的技術，它能制成一種由2/3氣和1/3水組成的溶氣水，氣泡直徑可小到55m。把這種氣水混合物注入受污染區域，可大大提高氧的傳遞效率。
化氫供氧技術。與同等大小的直接燃燒焚燒爐相比，熱回收式焚燒爐通過加熱有機廢氣可降低5%-7%的燃料消耗。此種焚燒爐適用于高濃度廢氣且風量達到2立方英尺/分。此外，焚燒爐產生的余熱可以被回收用于過程加熱。催化劑焚燒爐催化劑焚燒爐內設有催化劑床，VOCs氧化分解的起燃溫度相對較低(通常在5華氏度到8華氏度之間)，因此使用催化劑焚燒爐有以下幾點好處：建造材料相對便宜；燃料消耗小；燃燒過程產生少量二次污染物如一氧化碳、氮氧化物等。
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