光氧催化一體機作業原理：選用高溫等離子體分化油霧、廢氣等凈化介質時，等離子體中的離子起決議性的作用。廢氣和惡臭氣體通過等離子體電場區，在納秒級時間范圍內流星雨狀的離子與介質內分子(原理)發生非彈性磕碰。
等離子激烈轟擊廢氣和臭味等凈化物分子，發生裂變分化反響，將能量轉化成基態分子(原子)的內能，發生激起，離解、電離等一系列進程使凈化介質處于活性狀況，凈化介質在等離子體的作用下。
發生、量的各種活性自在基、電子、離子等，一同發生許多臭氧、原子氧、生態氧等混合氣體，停止一系列混亂的分化裂解和氧化恢復反響。(初級電子在電場中獲得怠慢，碰擊空氣中的氧分子。
當廢氣進入等離子光解一體機污染設備內時，先通過等離子體化學反響進程，即電子首先從電場獲得能量，通過激起或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激起，一同有部分分子被電離， 然后成爲活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間彼此磕碰后生成平穩商品和熱。
