自來水經過精密濾芯和活性炭濾芯進行預處理，過濾泥沙等顆粒物和吸附異味等，讓自來水變得更加干凈，然后再通過反滲透裝置進行水質純化脫鹽，純化水進入儲水箱儲存起來，其水質可以達到國家三級水標準，同時反滲透裝置產水的廢水(亦稱“濃水”)排掉。反滲透純水通過純化柱進行深度脫鹽處理就得到一級水或者超純水，后如果用戶有特殊要求，則在超純水后面加上紫外殺菌或者微濾、超濾等裝置，除去水中殘余的細菌、微粒、熱源等。

精密濾芯、活性炭濾芯、反滲透膜、純化柱都是具有相對壽命的材料，精密濾芯和活性炭濾芯實際上是對反滲透膜的保護，如果它們失效，那么反滲透膜的負荷就加重，壽命減短，如果繼續開機的話，那產生的純水水質就下降，隨之就加重了純化柱的負擔，則純化柱的壽命就會縮短。終結果是加大了超純水機的使用成本。

超純水機采用了*的反滲透技術和離子交換技術相結合的方式，使用的增壓泵、電磁閥、高容量離子交換樹脂、R.O反滲透膜、濾芯、管路連接件、控制原件、紫外燈等均采用國外廠家的產品。由于澳科浦（OKP）系列超純水器采用微電腦單板機程序控制，水質檢測自動顯示，從而獲得了高質量的產出水，它的出水電阻率一般均可達到18MΩ*cm。澳科浦（OKP）系列超純水器與國外同類產品相比，它的整機的價格和更換配件的費用僅為國外的三分之一左右，同時它還具有操作簡便、安裝方便等優點。
超純水機采用的主要是反滲透膜技術。超純水機工作原理是對水施加一定的壓力，使水分子和離子態的礦物質元素通過反滲透膜，而溶解在水中的絕大部分無機鹽(包括重金屬)，有機物以及細菌、病毒等無法透過反滲透膜，從而使滲透過的純凈水和無法滲透過的濃縮水嚴格的分開;反滲透膜上的孔徑只有0.0001 微米，而病毒的直徑一般有0.02-0.4微米，普通細菌的直徑有0.4-1微米。