由于集成電路的結構通常非常精細,因此需要用無雜質的超純水進行清洗。傳統的超純水制取方法主要有:蒸餾法和離子交換法等。蒸餾法要求設備嚴密,產量低、能耗比較高。離子交換法再生失效的離子交換樹脂需要大量酸堿溶液和大量的清洗水,勞動強度大。隨著電鍍行業的不斷發展,對純水的水質要求越來越高,這些傳統方法不適合單獨使用來生產純度很高的超純水。
萊特萊德超純水設備可以連續穩定的制備品質優良的超純水,不會因為樹脂再生而停止運行,設備結構設計相對靠緊,其占地非常小,可以為企業節省很多空間,超純水設備在出廠前均需進行試壓,所以設備故障幾率較小,日常保養、維修等操作都非常簡單。芯片超純水設備內部還安置有反滲透預脫鹽技術,再次從根本上行保障了水處理設備的出水水質。
超純水設備在設計上采用成熟、可靠、自動化程度高的兩級RO+EDI+精混床除鹽水處理工藝,確保處理后出水電阻率達到18 MΩ.CM以上。設備內部還安裝有反滲透預脫鹽技術,再次從根本上行保障了設備的出水水質,與此同時,EDI處理裝置廢水產出量少,不會對環境造成污染,有非常高的環境效益、經濟效益。
隨著國家集成電路扶持政策的漸次落地,再加上智能手機芯片國產化替代加速,國內集成電路產業也有望迎來“黃金十年"。
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