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隨著社會(huì)的發(fā)展,電子行業(yè)越來越普及。在電子集成電路的生產(chǎn)過程中,幾乎每道工序都需要超純水進(jìn)行清洗。一方面芯片在加工過程中的微量玷污得到清洗,而另一方面超純水中的微量雜質(zhì)又可能使芯片再污染,無疑對(duì)產(chǎn)品有著很大的影響。隨著集成電路程度的進(jìn)一步提高,對(duì)超純水的要求亦更加嚴(yán)格。
超純水是將水中的導(dǎo)電介質(zhì)除去的水,作為集成電路工業(yè)中用于半導(dǎo)體原材料和所用器皿的清洗。此外,其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制作也都要使用超純水。但是現(xiàn)有超純水技術(shù)系統(tǒng)中,運(yùn)行成本高,生產(chǎn)水質(zhì)不穩(wěn)定,而且使用化學(xué)藥品多,容易產(chǎn)生污染。
為有效彌補(bǔ)傳統(tǒng)工藝中的不足,萊特萊德采用“微砂多級(jí)過濾系統(tǒng)+Neterfo-GA極限分離系統(tǒng)(亞滲透)+Neterfo-HRLE極限分離系統(tǒng)+Clean-EDI系統(tǒng)"的超純水系統(tǒng)處理工藝,采用低壓循環(huán)再生模式,低能耗,模塊恢復(fù)性能佳。且在更換樹脂床或使用化學(xué)試劑進(jìn)行樹脂再生時(shí)并不需要關(guān)閉系統(tǒng),很大限度地減少了水的質(zhì)量不穩(wěn)定因素,同時(shí)簡(jiǎn)化了操作和基建成本。其技術(shù)特點(diǎn)如下:
1、綜合考慮系統(tǒng)進(jìn)水水質(zhì)情況及為保證膜分離系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行,本項(xiàng)目設(shè)計(jì)采用雙層雙級(jí)微砂過濾系統(tǒng),以保證微砂過濾系統(tǒng)處理后的水滿足膜系統(tǒng)的進(jìn)水水質(zhì)要求。
2、Neterfo極限分離系統(tǒng)是一套膜法深度處理回用系統(tǒng),該系統(tǒng)搭載了錯(cuò)流PON耐污染技術(shù)、POM寬流道高架橋旁路等多項(xiàng)技術(shù),可實(shí)現(xiàn)低壓系統(tǒng)運(yùn)行與高回收率并存。
在電子集成電路生產(chǎn)過程中,幾乎每一步、每一個(gè)環(huán)節(jié)都離不開超純水的應(yīng)用,因此超純水被稱為電子集成電路行業(yè)的“糧食"。Neterfo-HRLE系列極限分離系統(tǒng)可截留TDS、COD,中高運(yùn)行壓力下?lián)碛休^高的脫鹽率,通過優(yōu)異的系統(tǒng)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)低能耗和高回收率,為電子集成電路行業(yè)用水提供技術(shù)保障。
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