電阻率測試儀(以下簡稱電阻率測試儀)是用來測量半導(dǎo)體材料(主要是硅單晶、錯單晶、硅片)電阻率，以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電薄膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器。測試儀主機(jī)由主機(jī)板、電源板、前面板、后背板、機(jī)箱組成。電壓表、電流表、電流調(diào)節(jié)電位器、恒流源開關(guān)及各種選擇開關(guān)均裝在前面板上。后背板上只裝有電源插座、電源開關(guān)、四探針頭連接插座、數(shù)據(jù)處理器連接插座及保險管。機(jī)箱底座上安裝了主機(jī)板及電源板，相互間均通過接插件聯(lián)接。
特點是主機(jī)配置雙數(shù)字表，在測量電阻率的同時，另一塊數(shù)字表(以萬分之幾的精度)適時監(jiān)測全程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換，更及時掌控測量電流。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩(wěn)定。
電阻率測試儀配有恒流源開關(guān)，在測量某些薄層材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護(hù)箔膜。儀器配置了“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1~0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。本機(jī)如加配數(shù)據(jù)處理器，測量硅片時可自動進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正，并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的百分比變化、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度，給測量帶來很大方便。
電阻率測試儀適用：電線電纜行業(yè)、導(dǎo)體及半導(dǎo)體材料行業(yè)，碳素、焦化、石化、粉末冶金、高等院校、科研部門對新材料之研究，是檢驗和分析材料樣品質(zhì)量的一種重要的工具及有效方法。
