超純水設備系統主要工藝介紹

超純水的電阻率大于18MΩ*cm或接近18.3MΩ*cm極限值，其幾乎不含導電介質，并且水中不離解的膠體物質、氣體及有機物也被去除至很低的程度。目前，超純水設備主要應用于微電子、電力、光電、光伏、半導體、實驗室以及其他領域。

為滿足用戶用水需求，持續獲得符合要求的產水水質，盡可能減少各環節的水質污染，超純水系統在工藝設計上大致分為預處理、反滲透、離子交換和終端處理四大步驟。預處理系統將原水初級凈化，再設有反滲透（RO）生產純水，連續電去離子（EDI ）裝置或離子交換混床系統產水超純水，在終端處理及輸送環節采用拋光混床或者終端超濾方式有效去除各種殘余雜質，確保產水的高純水符合相應的標準。

超純水主流的處理工藝包括以下三種：

（1）預處理（多介質過濾器+活性炭過濾器）→單級RO→再生混床→拋光混床

（2）預處理（多介質過濾器+軟化器+活性炭過濾器）→單級RO→EDI→拋光混床

（3）預處理（疊片式過濾器+超濾）→雙級RO→EDI→拋光混床→終端超濾

其中，多介質過濾器內合理填充精制石英砂等填料，主要作用是將原水中的懸浮物及一些雜質去除；

活性炭過濾器具有濾色、除臭、吸附有機物雜質等作用，能夠去除水中游離余氯，使得預處理出水符合RO膜的進水水質要求；

軟化器采用可再生型陽離子交換樹脂為濾料，主要作用是降低原水的硬度，防止反滲透膜的表面結垢，另外，可根據運行時間使用氯化鈉對離子交換樹脂進行再生；

超濾利用多孔性不對稱的膜結構，以膜兩側壓力差為驅動力，將溶液分離，以提高出水水質，產水SDI小于3；

反滲透系統（RO）利用膜的選擇透過性的特點，以膜兩側壓力差的驅動力。其工作原理為進水經過產水流道流入中心管，在一端流出匯入產水管道。在膜的進水側將進水中雜質進行截留，然后在濃水出水端流出，從而起到分離凈化的效果。

連續電去離子（EDI）通常安裝在反滲透系統（RO）后，對RO產水進行二次除鹽。EDI技術是電滲析和離子交換樹脂除鹽技術相結合的新型分離技術，可連續運作工作，不需要加酸堿，沒有化學再生，而且它的體積較小，操作和管理方便，運行費用低。

拋光混床通常設在工藝末端，利用的是沒有化學物質析出的核子級樹脂，可將純水中殘余的微量帶電離子及弱電解質有效去除，使得產水水質能夠符合超純水的標準。

終端超濾用在終端供水環節，相當于純化水系統最后的“防火墻”，將水中殘余的雜質去除，產水顆粒（＞0.05μm）＜1個/ml。

超純水設備具有自動化程度高、出水質量高、占地面積小、資金投入合理等特點，深受工業企業的歡迎。