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EDI超純水設備采用的工藝是離子交換和電滲析相結合的膜分離脫鹽工藝。因為出水的水質可以在大范圍內滿足行業的要求，它是穩定且可以實現24小時不間斷的水生產，在制備純水后不會造成二次污染，這也是許多行業考慮它的原因。

然而，由于純水不應儲存太長時間，設備的尺寸要根據用戶每小時的用水量定制。該設備每小時可生產多少噸？純水的電阻率會隨著放置時間的變化而變化，因此，需要根據每小時的工業用水量定制設備的尺寸和規模。EDI超純水生產設備在一小時內產生的純水量主要是根據用戶的需求定制的。

在原水預處理階段，使用預處理過濾器，而混床離子交換技術分為陽離子床和陰離子床。反滲透水處理工藝也可用于中間階段。離子交換和混合床工藝后的出水質量電阻率可達到15MΩ·CM以上，如果水質需要達到18.2MΩ·CM或以上，可采用預處理-反滲透水處理-edi超純水工藝的組合。