歐陽
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激光濺射噴鍍薄膜計算機控制系統
適用領域
科學院，有色金屬研究院，大學科研課題研究
激光應用 晶體研究 超導物理
型號
JJH-PLDC
系統功能指標
計算機按程序控制基片加熱系統的真空爐體溫度，使爐體溫度按設定程序曲線運行，包括升溫段、恒溫段、降溫段
計算機控制掃描反射鏡的旋轉和擺動，使激光光束按照特定的軌跡偏轉
計算機控制安裝在步進電機驅動的行星齒輪末端靶位，實現靶位定時切換
準分子激光器的計算機控制系統，包括脈沖發射啟動，停止，激光脈沖發射頻率
的激光鍍膜計算機控制系統-PLDC應用軟件
的硬件控制系統
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