技術原理 

低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的 放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。（注：低溫等離子體相對于高溫等離子體而言，屬于常溫運行。）    等離子體反應區富含*的物質，如高能電子、離子、自由基和激發態分子等，廢氣中的污染物質可與這些具有較高能量的物質發生反應，使污染物質在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到講解污染物的目的。

■  雙介質阻擋放電示意圖

■  去除污染物的基本過程

    過程一：高能電子的直接轟擊 

    過程二：O原子或臭氧的氧化  O2+e→2O

    過程三：OH自由基的氧化  H2O+e→OH+H  H2O+O→2OH  H+O2→OH+O

    過程四：分子碎片+氧氣的反應 

■  技術工藝示意圖