在真空泵中將金屬工件在1個大氣壓以下(即負壓下)加熱的金屬熱處置工藝。據迅達真空泵所知：20世紀20年代末﹐隨著電真空技術的開展﹐呈現了真空熱處置工藝﹐當時還僅用於退火和脫氣。由於設備的限制﹐這種工藝較長時間未能取得大的停頓。60～70年代﹐陸續研製勝利氣冷式真空熱處置爐﹑冷壁真空油淬爐和真空加熱高壓氣淬爐等﹐使真空熱處置工藝得到了新的開展。在真空中停止滲碳﹐在真空中等離子場的作用下停止滲碳﹑滲氮或滲其他元素的技術停頓﹐又使真空熱處置進一步擴展了應用范圍。

    迅達真空泵廠的真空泵零件經真空熱處置后﹐畸變小、質量高且工藝自身操作靈敏、無公害。因而真空熱處置不只是某些特殊合金熱處置的必要手腕﹐而且在普通工程用鋼的熱處置中也取得應用﹐特別是工具﹑模具和精細耦件等﹐經真空熱處置后運用壽命較普通熱處置有較大的進步。例如某些模具經真空熱處置后﹐其壽命比原來鹽浴處置的高40～400％﹐而有許多工具的壽命可進步3～4倍左右。此外真空泵加熱爐可在較高溫度下工作﹐且工件能夠堅持干凈的外表﹐因此能加速化學熱處置的吸附和反響過程。因而某些化學熱處置如滲碳﹑滲氮﹑滲鉻﹑滲硼以及多元共滲都能得到更快﹑更好的效果。

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