XP-703D便攜式砷化三氫,氫氣,磷化氫,硅烷檢測(cè)儀
zui適用于半導(dǎo)體材料氣體的超微量泄漏檢測(cè)。
通過(guò)燈及蜂鳴器即可得知?dú)怏w泄漏。
XP-703D便攜式砷化三氫,氫氣,磷化氫,硅烷檢測(cè)儀技術(shù)參數(shù)：
| 型號(hào) | XP-703D | ||||
| 檢測(cè)原理 | 型半導(dǎo)體式 | ||||
| 檢測(cè)對(duì)象氣體 | 半導(dǎo)體材料氣體（砷化三氫、磷化氫、、硅烷等） | ||||
能檢測(cè)的泄漏量 能檢測(cè)的濃度 | 砷化三氫 AsH3 1.0×10-7 0.2 | 磷化氫 PH3 1.5×10-7 0.3 | B2H6 0.5×10-7 0.1 | 硅烷 SiH4 2.5×10-7 0.5 | 氫氣 H2 5×10-7 Pa·m3 /s 1.0 ppm |
| 應(yīng)答時(shí)間 | 10秒 | ||||
| 檢測(cè)表示 | 蜂鳴器發(fā)出斷續(xù)音且燈閃爍 | ||||
| 電源 | 5號(hào)錳干電池4節(jié) | ||||
| 電池使用時(shí)間※1 | 使用堿性干電池使用約9小時(shí)（使用錳干電池約3小時(shí)） | ||||
| 使用溫度范圍 | 0℃~40℃ | ||||
| 外形尺寸 | W68×H155×D32mm | ||||
| 重量 | 約400g（包括電池） | ||||
| 附件 | 皮套、吸引過(guò)濾器、過(guò)濾片、檢查氣體、標(biāo)準(zhǔn)輔助橡膠管、5號(hào)錳干電池4本 | ||||
| 另售的選購(gòu)品 | Ni-Cd電池充電器、耳機(jī) | ||||
備注：
※1 也可使用堿性干電池、Ni-Cd電池。
