臭氧滅菌為溶菌級方法，殺菌*，無殘留，殺菌廣譜，可殺滅細菌繁殖體和芽孢、病毒、真菌等，并可破壞肉毒桿菌毒素。另外，O3對霉菌都有殺滅作用。O3由于穩定性差，很快會自行分解為氧氣或單個氧原子，而單個氧原子能自行結合成氧分子，不存在任何有毒殘留物，所以，O3是一種無污染的消毒劑。O3為氣體，能迅速彌漫到整個滅菌空間，滅菌*。而傳統的滅菌消毒方法，無論是紫外線，還是化學熏蒸法，都有不*、有死角、工作量大、有殘留污染或有異味等缺點，并有可能損害人體健康。如用紫外線消毒，在光線照射不到的地方沒有效果，有衰退、穿透力弱、使用壽命不長等缺點。化學熏蒸法也存在不足之處，如對抗藥性很強的細菌和病毒，則殺菌效果不明顯。
活性氧（臭氧）滅菌消毒作用體現在它的強氧化性上，是*的綠色廣譜高效的消毒滅菌劑。廣泛用于飲用水消毒，醫療衛生機構空氣消毒，臭氧會在30-40分鐘后自動還原成氧氣，沒有化學殘留二次污染。所應用的領域有消毒柜、果蔬解毒機，婦科治療儀、食品加工、飲用水灌裝消毒設備等。
移動式臭氧消毒殺菌機主要是通過電解制法制成。一般大中型臭氧發生器有氧氣源和空氣源兩種，直接把氧氣電解成臭氧。臭氧發生器產生的臭氧具有低濃度下可瞬時完成氧化作用；微量時有一種清新氣味，臭氧與有機物、無機物均能產生氧化瓜。實踐證明臭氧化氣體用于水處理、脫色、除臭、殺菌、滅藻與病毒滅活；除錳、除硫化物、除酚、除氯、除異味、石油制品及合成洗滌后消毒；作為氧化劑，用于某些香料合成、提煉藥物、潤滑脂合成、合成纖維的制造；作為催化劑用于油墨涂料速干、助燃及釀酒發酵方面、各類纖維紙漿漂白、全盛洗滌劑的脫色、毛皮加工件的除臭殺菌等；在醫院廢水處理中起到消毒、除臭等作用。在廢水處理方面，可除金屬離子。
