1、符合半導體材料電阻率的及國家標準測試方法。
2、測量厚度大于4倍探針間距的硅晶體，也可測量薄硅片電阻率及方阻。
3、電阻率測量范圍復蓋zui常用的區段：0.01—199.9Ω·cm。（可添加電阻率小于0.5Ω·cm的報警功能）
方塊電阻測量范圍復蓋zui常用的區段：0.1—1999Ω/□。（可添加方塊電阻小于5Ω/□的報警功能）
4、配置高精度恒流源，測量電流穩定，分兩檔：1mA、10mA，每檔均可在大范圍內調節（1mA：0.1—1mA；10mA：1mA—10mA）。
5、測量精度高：電器測量精度優于0.3%；
整機測量誤差：測量1-100Ω·cm的標準硅片誤差≤±3%。
測量大于100Ω·cm和小于1Ω·cm的標準硅片誤差≤±5%。
6、重量輕，約2.5kg；體積小：240×210×100（mm）。
7、可配用多種探針間距的四探針頭：1.00mm、1.59mm。
