詳細介紹：
★SF6分解產物全分析解決方案
★PDHID檢測器實現對ppb級痕量雜質的檢測
★采用中心切割技術實現復雜組分分離
一、系統性能：
1、大屏幕LCD中文液晶顯示：
2 大屏幕LCD液晶漢字顯示技術，顯示直觀、操作方便；
2 譜圖顯示功能，實時顯示在分析樣品譜圖；
2 自我診斷功能，直接顯示故障部位；
2 觸摸式鍵盤方便使用者對各項操作數據進行設定；
2 數據斷電保護功能，運行數據在斷電后能長期保存；
2 十種分析參數的存儲功能，適應多樣品分析場合。
2、六氟化硫專用色譜工作站
2 實時顯示實測溫度
2 方便的設定各個溫度參數及其保護值，操作條件一目了然
2 方便的設定程序升溫程序并實時顯示程序升溫狀態
2 輕松設置外部事件，自動完成進樣、切換、反吹、切割等復雜的過程
2 坐在電腦前即可完成主機的升溫、降溫等過程，讓色譜的操作簡單到。
二、技術參數：
1、檢測范圍
| 雜質種類 | 檢測限（ppb） | 雜質種類 | 檢測限（ppb） |
| H2 | 50 | SO2F2 | 100 |
| O2 | 50 | SOF2 | 100 |
| N2 | 50 | SO2 | 100 |
| CH4 | 50 | H2S | 100 |
| CF4 | 50 | COS | 100 |
| CO | 50 | CS2 | 100 |
| CO2 | 50 |
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| C2F6 | 50 |
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| C3F8 | 50 |
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2、溫控指標：
2 控溫范圍：室溫上8℃-399℃，控溫精度：±0.1℃，程序升溫階數：8階
