PicoMaster ATE-100 無(wú)掩模激光直寫(xiě)光刻機(jī)
●250納米分辨率（375納米激光源）
●300納米分辨率（405納米激光源）
●4095灰階
●業(yè)界成套全息設(shè)計(jì)軟件
●最大125x125毫米基板尺寸
PicoMaster 100 采用波長(zhǎng)405納米二極管激光器，它擁有市場(chǎng)上最小的300納米激光分辨率。升級(jí)375納米激光源，可以更好地兼容市面上I-line光刻膠材，從而滿(mǎn)足更高級(jí)別的應(yīng)用需求。備用光學(xué)模塊，將大大的降低機(jī)器停機(jī)時(shí)間。更為人性化的軟件設(shè)計(jì)，大大提升了用戶(hù)實(shí)際操作效率，它將是您科學(xué)研究、實(shí)驗(yàn)開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)創(chuàng)新，理想的光學(xué)伙伴。PicoMaster 100廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻, LED芯片,微流控芯片,微納結(jié)構(gòu),灰度光刻,三維加工,全息影像等多個(gè)領(lǐng)域。
PicoMaster 100 無(wú)掩模激光直寫(xiě)系統(tǒng)性能規(guī)格
?PicoMaster 100 曝光光 時(shí)間表中只列出部分代 表性直寫(xiě)精度，不代表 所有尺寸；
? PicoMaster 100 曝光時(shí) 間表中的運(yùn)動(dòng)參數(shù)均為 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置；
? PicoMaster 100 可配備 自動(dòng)數(shù)值孔徑開(kāi)關(guān)，允 許用戶(hù)選擇較低的分辨 率，提高寫(xiě)入速度。
PicoMaster 附帶兩個(gè)基于Windows的應(yīng)用程序：項(xiàng)目管理器和設(shè)備控制器。 • 當(dāng)設(shè)備控制器處理作業(yè)并控制機(jī)器時(shí)，項(xiàng)目管理器允許用戶(hù)選擇功能并處理圖像； • 項(xiàng)目管理器具有獨(dú)立動(dòng)態(tài)處理圖像的特點(diǎn)，這將作業(yè)前的準(zhǔn)備時(shí)間減少； • 設(shè)備控制器允許操作員對(duì)項(xiàng)目作業(yè)進(jìn)行排隊(duì)、項(xiàng)目進(jìn)度監(jiān)控，并提供高級(jí)手動(dòng)控制功能。
• PicoMaster 設(shè)備控制器的特點(diǎn)：
•即時(shí)處理作業(yè)。
• 作業(yè)隊(duì)列。
• 可自由定義的工藝和曝光配方。
• 擴(kuò)展歷史數(shù)據(jù)庫(kù)。
• 支持遠(yuǎn)程操作。
