產品簡介：
2000℃溫度可控型 30KW 感應加熱爐 SP-85KTC 是一款較大型高溫感應加熱、熔煉爐系統，配 備 30KW 感應加熱器、8.5"（216mm）石英管、鉸接式法蘭及閥門、石墨坩堝、石墨毯、氧化鋁保溫毯、16L/min 循環冷水機、真空泵和移動爐架， 溫度可以達到 2000℃ （使用時石英管內需通入保護性氣體） ，是生 長晶體、金屬熔煉和各種材料的熱處理的選擇。
| 產品型號 | 2000℃溫度可控型 30KW 感應加熱爐 SP-85KTC | |
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安裝條件 | 本設備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：設備配有自循環冷卻水機（加注純凈水或者去離子水） 2、電： AC380V 50Hz（63A 空氣開關），必須有良好接地 3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度 99.99%以上） ，需自備氬氣氣瓶（自帶 6mm 雙卡套接頭） 4、工作臺： 尺寸 1500mm×600mm×700mm ，承重 200kg 以上 5、通風裝置：需要 | |
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主要特點 | 1 、采用多塊氧化鋁制作的耐火材料，用于支撐石墨坩堝，并防止熱量輻射。 2、設有自動水壓、過熱、功率過高保護系統。 3 、溫控器采用 PID 方式控溫， 可設置 30 段升降溫程序，設有過熱和斷偶保護功能。 4、配有防腐型真空計， 當氣壓在 10mbar 以上時，不需因測量氣體種類的不同進行系數轉換， 量程可到 3.8×10E-5torr。 5 、迷你型浮子流量計精度為 4%。 | |
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| 6、配有雙級旋片機械泵（2L/s）， 可使石英管內真空度達到 10E-2torr。 | |
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技術參數 | 感應加熱器 1、工作電壓： 三相 AC 380V 50Hz（需 60A 空氣開關） 2、工作電流： 7Amps-70Amps（需 100A 空氣開關） 3、功率： 振蕩功率 30KW ，輸入功率 15KW 4、輸出頻率： 30KHz-110KHz 5、占空比： 80% 6、感應線圈： 內徑 Ø220 mm ，高 65 mm 7、空氣冷卻：后風扇 溫度控制器及熱電偶 1、工作電壓： AC208V-240V 單相 2、控溫精度：±3℃ 3、熱電偶： C 型， 外徑 Ø1/4" ，長 10" 4、連續工作溫度范圍： 1000℃-2000℃ 5、升溫速率： 4℃/s（ 1000℃-1200℃） 、3℃/s（ 1200℃-1500℃） 、1℃/s-2℃/s（ 1500℃-2000 ℃） | |
| 石墨坩堝（易耗件） 1、高純石墨坩堝： 外徑 Ø114mm ，內徑 Ø100mm ，高 142mm 2、容量： 樣品所占容積應為石墨坩堝容積的 1/2 ，質量為 4kg （以鐵標定） 3、保溫層：石墨坩堝外環繞三層隔熱材料， 從內至外分別為石墨氈（可耐溫 2200℃） -氧化 鋁（可耐溫 1700℃） -高溫氈， 總厚度為 32mm | ||
| 石英管和密封法蘭 1、石英管：兩端開口， 外徑 Ø216mm ，內徑 Ø208mm ，長 500mm 2、頂部法蘭：采用不銹鋼折疊式法蘭， 裝有防腐型真空計、不銹鋼截止閥， 設有 1 個 1/4"的 鎧裝接口（可插入熱電偶至石英管內部，更準確地測量樣品溫度） 3、底部法蘭： 設有 KF25 接口，可通過波紋管與真空泵相連接 | ||
| 水冷機 1、溫度： 5℃-30℃ 2、水流速： >16L/min 3、水箱容積： 12L，采用不銹鋼制作 4、水壓：≥0.1MPa 5、流量：≥5L/min 建議使用特定的冷卻劑液以達到的冷卻效果）
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| 真空泵 工作電壓： AC208V-240V 單相 | ||
| 移動爐架 尺寸： 700mm×1000mm×700mm，鋼框架結構，方便移動感應加熱器和帶法蘭的石英管 | ||
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產品規格 |  | |
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注意事項 | 操作前，必須仔細閱讀說明書，且操作人員需帶防護面罩。使用時，熔煉必須在≤0.02Mpa 的 流動氬氣下進行，流量小于 200ml/min ，需始終保持石英管內的氣壓<0.02MPa 。升溫過程中需 時刻注意石英管內的氣壓，若氣壓超過安全值，會引起石英管開裂、法蘭蹦出，甚至造成人身 傷害。 | |
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其他事項 | 本機可改為 RTP （快速熱處理爐） 和混合物物理化學氣相沉積（HPCVD）系統。請參看下圖。
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