V10FC-R直接熱式流量計

產品簡介

   V10FC直接熱式MFC/MFM采用熱式測量原理，直接用兩支快速反應的鎧裝傳感器測量氣體流量。由于沒有層流元件，并采用哈氏合金傳感器，V10FC可用于易結晶和腐蝕性的氣體測量。對低壓管道或者壓力損失小的應用，V10FC也同樣適用。
   V10FC直接熱式MFC/MFM與其它差壓原理的V10FC一樣，具有三路流量/壓力/溫度顯示和輸出功能。


產品應用

產品主要用于真空,鍍膜,石油化工,煤炭冶金,制氣配氣,環保及各種分析,科研院所實驗設備。

V10FC-R直接熱式控制器

產品特點

● 直接熱式原理，無層流元件
● 無壓損,抗結晶,抗腐蝕
● 適用于各種低壓和高壓管道
● 精確測量和控制氣體的質量流量
● 預熱時間短,零漂小，可靠性高
● 多種氣體可選,也可自行輸入

技術參數

技術指標

V10FC-RC質量流量控制器

V10FC-RM質量流量控制器

量程范圍

小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～2000SLM

控制范圍

控制器20：1

流量計20：1

準 確 度

流量：±3%F.S 壓力：0.5% F.S 溫度：±1℃

線 性

±0.5%F.S

重復精度

±0.2%F.S

響應時間

100ms

10ms

數 字 量

RS232/485，MODBUS協議

模 擬 量

0～5V、4～20mA、1～5V

供電

12V/24V/±15V可選

工作溫度

0～50℃

工作壓力

工作壓差：0.03～0.5MPa

工作壓降：<0.01Mpa

耐壓

低壓1MPa，中壓3MPa，高壓10MPa

電氣連接

DB15孔

漏 率

1×10-9SCCSHe

溫度系數

±0.015%F.S/℃

底座材質

316L

密封材料

氟橡膠,氯丁橡膠，丁晴橡膠

接 頭

VCR1/4;swagelokφ6