● 直接熱式原理，無層流元件                              
● 無壓損,抗結晶,抗腐蝕
● 適用于各種低壓和高壓管道                                                                       V10FD-R直接熱式流量計
● 預熱時間短,零漂小，可靠性高
● 數模兼容,可使用二次表或計算機控制和顯示流量
● 內置閥控指示燈/通訊指示燈/流量指示燈
● 內置4種氣體,無比熱容附加誤差,不影響精度

   V10FD-R直接熱式MFC/MFM采用熱式測量原理，直接

用兩支快速反應的鎧裝傳感器測量氣體流量。該產品為模擬

和數字兼容型設計：可通過模擬型二次表或PLC進行設定和

顯示瞬時流量；也可通過數字接口直接與計算機進行通訊。

具有通用于模擬型控制系統和數字型控制系統的特點。
        該產品采用多氣體多量程的設計便于用戶現場配置流量計：        

通過撥碼開關可以現場選擇四種測量氣體，每種氣體有3種校          

準量程，六個LED指示燈可以較直觀的顯示V10FD-L的各種

工作狀態。如果需要對氣體流量進行控制時,還可以加裝電磁比      

例調節閥和內置PID調節功能。

產品應用                                                                                                                   V10FD-R直接熱式控制器

真空 鍍膜 太陽能 半導體 石油石化
煤炭冶金 制氣配氣 環保 各種分析儀器

技術參數

技術指標:     V10FD-RC質量流量控制器V10FD-RM質量流量計
量程范圍:     小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～250SLM
測控范圍:     控制器閥控范圍50:1 流量計量程比100:1
準 確 度:     流量：±3%讀數±0.2%滿量程
              壓力：0.5%F.S 溫度：±1℃
              線性±0.5%F.S
重復精度:     ±0.2%F.S
響應時間:     100ms 10ms
數 字 量:     RS232/485，MODBUS協議
模 擬 量:     0～5V、4～20mA、1～5V
供    電:     24V/±15V可選
工作溫度:     0～50℃
工作壓力:     工作壓差：0.03～0.5MPa 工作壓降：<0.01Mpa
耐壓:     3MPa
電氣連接:     DB15孔
漏    率:     1×10-9SCCSHe
溫度系數:     ±0.015%F.S/℃
底座材質:     鋁合金或316L不銹鋼
密封材料:     氟橡膠,氯丁橡膠，丁晴橡膠
接    頭:    VCR1/4;swagelokφ6