FT-340系列雙電測電四探針方阻電阻率測試儀詳情介紹
FT-340 Series Double electric four-probe resistance ratio tester
適用范圍Widely used：
1.覆蓋膜;導(dǎo)電高分子膜，高、低溫電熱膜;隔熱、導(dǎo)電窗膜 導(dǎo)電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標(biāo)簽、合金類箔膜;熔煉、燒結(jié)、濺射、涂覆、涂布層，電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料，其他半導(dǎo)體材料、薄膜材料方阻測試
2.硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻 半導(dǎo)體材料/晶圓、太陽能電池、電子元器件，導(dǎo)電薄膜（ITO導(dǎo)電膜玻璃等），金屬膜，導(dǎo)電漆膜，蒸發(fā)鋁膜，PCB銅箔膜，
3.EMI涂層等物質(zhì)的薄層電阻與電阻率 導(dǎo)電性油漆，導(dǎo)電性糊狀物，導(dǎo)電性塑料，導(dǎo)電性橡膠，導(dǎo)電性薄膜，金屬薄膜，
4.抗靜電材料， EMI 防護(hù)材料，導(dǎo)電性纖維，導(dǎo)電性陶瓷等，
功能描述Description：
1. 四探針組合雙電測量方法
2. 液晶顯示，自動測量，自動量程，自動系數(shù)補(bǔ)償.
3. 集成電路系統(tǒng)、恒流輸出.
4. 選配：PC軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)管理和處理.
5. 提供中文或英文兩種語言操作界面選擇
參照標(biāo)準(zhǔn)：
1.硅片電阻率測量的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）.
2.GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》.
3.GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》.
4.GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.
雙電組合測試方法：
利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測量，對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析，解決樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響，適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。
參數(shù)資料 Parameters
| 規(guī)格型號/ model | FT-341 | FT-342 | FT-343 | FT-345 | FT-346 | FT-347 |
| 1.方塊電阻sheet resistance | 10-5～2×105Ω/□ | 10-4～2×105Ω/□ | 10-3～2×105Ω/□ | 10-3～2×104Ω /□ | 10-2～2×105Ω/□ | 10-2～2×104Ω/□ |
| 2.電阻率Resistivity | 10-6～2×106Ω-cm | 10-5～2×106Ω-cm | 10-4～2×106Ω-cm | 10-4～2×105Ω-cm | 10-3～2×106Ω-cm | 10-3～2×106Ω-cm |
| 3.測試電流Test current | 0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA，10mA，100mA | 1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA | 0.1μA.μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA | 1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA | 0.1μA、1μA、10μA，100µA，1mA，10mA，100mA | 1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA |
| 4.電流精度Current | ±0.1% accuracy | ±0.2% accuracy | ±0.2% accuracy | ±0.3% accuracy | ±0.3% accuracy | ±0.3% accuracy |
| 5.電阻精度Resistance | ≤0.3% accuracy | ≤0.3% accuracy | ≤0.3% accuracy | ≤0.5% accuracy | ≤0.5% accuracy | ≤0.5% accuracy |
| 6.顯示讀數(shù)display | 屏液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率Large screen LCD: Resistance. resistivity. sheet resistance. temperature. unit conversion.temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. conductivity | |||||
| 7.測試方式 | test mode雙電測量Double electrical measurement | |||||
| 8.電源Power | 輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<30W | |||||
| 9.誤差errors | ≤3%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果） | |||||
| 10.選購功能choose to buy | 選購1.pc軟件； 選購2.方形探頭； 選購3.直線形探頭； 選購4.測試平臺；5.標(biāo)準(zhǔn)電阻.1.pc software; 2. square probe; 3. linear probe; 4. test platform | |||||
| 11.測試探頭test probe | 探針間距選購：1mm；2mm；3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購：碳化鎢針;白鋼針；鍍金磷銅半球形針Optional probe spacing: 1mm；2mm；3mm in three sizes.Select probe material: tungsten carbide needle. white steel needle. gilded copper hemispherical needles. | |||||
工作原理和計算公式
1.雙電測四探針法測試薄層樣品方阻計算和測試原理如下：
直線四探針測試布局如圖8，相鄰針距分別為S1、S2、S3,根據(jù)物理基礎(chǔ)和電學(xué)原理：
當(dāng)電流通過1、4探針，2、3探針測試電壓時計算如下：
四探針測試儀工作原理圖
1. 開啟電源，預(yù)熱5分鐘.
2. 裝配好探頭和測試平臺.
3. 設(shè)定所需參數(shù).
4. 測量樣品
5. 導(dǎo)出數(shù)據(jù).
1. 自動量程
2. 雙電組合測試方法
3. 標(biāo)準(zhǔn)電阻校準(zhǔn)儀器
4. PC軟件運(yùn)行
5. 同時顯示電阻、電阻率、電導(dǎo)率數(shù)據(jù).
6. 可顯示5位有效數(shù)字.
7. 中、英文界面
部分客戶案例
濟(jì)南展雄電子有限公司
青島啟東電子設(shè)備有限公司
福建萬龍金剛石工具有限公司
杭州晶鑫鍍膜包裝有限公司
丹東海浩電子科技有限公司
杭州晶鑫鍍膜包裝有限公司
華南理工大學(xué)
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福建省泉州萬龍實(shí)業(yè)有限公司
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株洲麥格米特電氣有限公責(zé)任公
江陰市中興光電實(shí)業(yè)有限公司
江蘇儀征電子管有限公司
北京思普特科技有限公司
出廠檢驗(yàn)報告樣本
服務(wù)項(xiàng)目
1.質(zhì)保：12個月，長期維護(hù).
2.培訓(xùn)：操作培訓(xùn)：
電話教學(xué)；U盤教學(xué)文件；遠(yuǎn)程可視溝通；現(xiàn)場教學(xué)；說明書教學(xué)文件
3.保養(yǎng)和維護(hù)：
提供因知保養(yǎng)和維護(hù)文件、標(biāo)識、表格 、保養(yǎng)提醒.
4.驗(yàn)證文件：
3Q驗(yàn)證文件、計量證書
5.擴(kuò)展服務(wù)：
延保服務(wù)，樣品測試服務(wù)，后延服務(wù)，儀器租賃服務(wù).
FT-340系列雙電測電四探針方阻電阻率測試儀視頻文件鏈接：
/v_show/id_XNDM1NDM2MTYyOA==.html?spm=a2hzp.8253869.0.0
