硅是地球上儲(chǔ)藏的材料之一，單晶硅也稱硅單晶，是電子信息材料中最基礎(chǔ)性材料，屬半導(dǎo)體材料類。單晶硅主要用于半導(dǎo)體集成電路、二極管、外延片襯底、太陽(yáng)能電池。利用單晶硅的性質(zhì)制造生產(chǎn)工藝用超純水設(shè)備。
工藝流程
預(yù)處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)
水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)
國(guó)家電子級(jí)純水標(biāo)準(zhǔn)
單晶硅純水機(jī)工藝流程
● 預(yù)處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-粗混床-精混床-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過(guò)濾器-用水對(duì)象(≥18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
● 預(yù)處理-反滲透-EDI裝置-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過(guò)濾器-用水對(duì)象(≥18MΩ.CM)(新工藝)
● 預(yù)處理-一級(jí)反滲透-二級(jí)反滲透-EDI裝置-紫外線殺菌器-精密過(guò)濾器-用水對(duì)象(≥15MΩ.CM) (新工藝)
● 預(yù)處理-反滲透-EDI裝置-紫外線殺菌器-精密過(guò)濾器-用水對(duì)象(≥5MΩ.CM)(新工藝)
● 預(yù)處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-粗混合床-精混合床-紫外線殺菌器-精密過(guò)濾器-用水對(duì)象 (≥15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
● 預(yù)處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-粗混合床-精密過(guò)濾器-用水對(duì)象 (≥5MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
單晶硅純水機(jī)水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)
國(guó)家電子級(jí)純水標(biāo)準(zhǔn)
單晶硅純水機(jī)設(shè)備要求
為達(dá)到符合標(biāo)準(zhǔn)的水質(zhì)，盡可能地減少各級(jí)的污染，延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命、降低操作人員的維護(hù)工作量。在工藝設(shè)計(jì)上，取達(dá)到國(guó)家自來(lái)水標(biāo)準(zhǔn)的水為源水，再設(shè)有介質(zhì)過(guò)濾器，活性碳過(guò)濾器，鈉離子軟化器、精密過(guò)濾器等預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)、離子交換混床系統(tǒng)(EDI電除鹽系統(tǒng))等。 系統(tǒng)中水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、水泵均設(shè)有壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測(cè)控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。
單晶硅純水機(jī)處理系統(tǒng)
①混床離子交換純化柱
②EDI裝置
③除熱原超濾膜
④紫外線殺菌燈與TOC紫外消解器
⑤終端過(guò)濾器
