主要特點(diǎn)：
成熟的模塊化工藝組合
可面向用戶(hù)工藝需要，定制化設(shè)計(jì)
已應(yīng)用于20nm級(jí)別IC工藝線(xiàn)
針對(duì)LED生產(chǎn)線(xiàn)，提高整體解決方案
全自動(dòng)清洗/手動(dòng)清洗可選
整機(jī)防漏液設(shè)計(jì)
廣泛應(yīng)用于Ic、MEMS、LED、PV、電力電子、半導(dǎo)體材料等行業(yè)
標(biāo)準(zhǔn)配置：
高純進(jìn)口板材
高結(jié)晶工藝管道
高潔凈氣動(dòng)閥門(mén)
防腐機(jī)械手
伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)
人機(jī)對(duì)話(huà)界面，觸摸屏操作
標(biāo)準(zhǔn)工藝模塊
SC-I溶液腐蝕槽
SC-II溶液腐蝕槽
SC-III溶液腐蝕槽
QDR槽
循環(huán)清洗槽
超聲/兆聲清洗槽
可選模塊：
鼓氮
水溶超聲/水浴兆聲槽
槽內(nèi)加熱/制冷循環(huán)
漏液檢測(cè)
水阻檢測(cè)
自動(dòng)供液系統(tǒng)
自動(dòng)配液系統(tǒng)
自動(dòng)滅火系統(tǒng)（有機(jī)清洗）
ESD功能（有機(jī)清洗）
MES接口（可選）
